Czyszczenie precyzyjne

Czyszczenie precyzyjne usuwa zanieczyszczenia lub skażenia z różnych powierzchni za pomocą cząstek lub struktur o wielkości poniżej μm. Jeśli niepożądane substancje, na przykład powodujące chropowatość, niepożądanie zmieniają właściwości elektryczne, optyczne lub chemiczne powierzchni, można zastosować czyszczenie precyzyjne.